
據德州天衢新區消息,9月20日,有研億金集成電路用高純濺射靶材項目投產儀式舉行,標志著該項目正式通線量產。
該項目總投資約6億元,占地140畝,建設高標準廠房5萬平方米,年產高純濺射靶材43000塊,達產后預計年銷售收入9億元。
有研億金(山東)新材料有限公司集成電路用高純濺射靶材生產項目基建負責李凱此前表示,項目建成后,將為國內芯片制造企業提供優質定制化服務及配套保障,提升我國集成電路關鍵配套材料自主可控能力,解決集成電路關鍵材料“卡脖子”問題。滿足集成電路7-28納米先進制程芯片的需求,實現國產替代,保持高端靶材產品國內市場占有率領先地位。
官網顯示,有研億金成立于2000年,現為有研新材料股份有限公司全資子公司,主要研發、生產和銷售集成電路用超高純金屬靶材、稀貴金屬功能材料和鉑族金屬業務。
在高純金屬靶材方面,有研億金突破從高純原材料提純到集成電路領域全尺寸、全品類濺射靶材制備等50余項關鍵制備技術,產品性能達到國際先進水平;開發出超高純鋁及鋁合金、銅及銅合金、鈦、鈷、鎳及鎳合金、鉭、金、銀、鉑、鎢及鎢合金等超百款靶材,滿足7~130納米制程邏輯、存儲等高端集成電路制造及先進封裝;建成集成電路用高端靶材制備綜合化、垂直一體化完整產業鏈,擁有20000平方米的生產基地。
在裝備方面,有研億金擁有大批先進的靶材加工和性能檢測設備,如真空感應熔煉爐、2000噸油壓機、200噸真空熱壓爐、軋機、熱處理爐、數控加工中心、水切割機、釬焊臺、XRD、ICP-MS、金相顯微鏡、透磁率檢測儀等。
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